R-14制冷劑，別名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等，中文名稱四氟化碳、四氟甲烷，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14屬于FC類物質(zhì)——對(duì)臭氧層沒(méi)有破壞、但存在溫室效應(yīng);目前對(duì)于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設(shè)備上的初裝、售后設(shè)備上的再添加均沒(méi)有限制。

　　R-14主要用途

　　R-14作為一款特種超低溫制冷劑，主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中(包括科研制冷、醫(yī)用制冷等)，R14同時(shí)也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

　　R-14物化性質(zhì)

　　冷媒名稱 R-14

　　分子量 88.0

　　沸點(diǎn)(1atm)，℃ -128

　　臨界溫度，℃ -45.67

　　臨界壓力，kPa3740

　　飽和蒸氣壓(25℃)，kPa3650(-45.6℃)

　　汽化熱/蒸發(fā)潛熱(沸點(diǎn)下，1atm)，kJ/kg-

　　破壞臭氧潛能值(ODP)0

　　全球變暖潛能值(GWP，100 yr)5700

　　ASHRAE安全級(jí)別A1(無(wú)毒不可燃)

　　R-14冷媒包裝

　　可重復(fù)使用高壓鋼瓶包裝(需回收包裝鋼瓶)：7kg/瓶，32kg/瓶。

　　R-14儲(chǔ)存、運(yùn)輸

　　R-14制冷劑鋼瓶為高壓容器，儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、避免陽(yáng)光直接曝曬，通常儲(chǔ)放于陰涼、干燥和通風(fēng)的倉(cāng)庫(kù)內(nèi);搬運(yùn)時(shí)應(yīng)輕裝、輕卸，防止鋼瓶以及閥門等附件破損。